石墨烯卷對卷
所屬分類：
石墨烯設備
概要：
? 石墨烯薄膜產(chǎn)業(yè)化設備 ? 寬幅卷對卷連續(xù)生長 ? APC系統(tǒng):真空蝶閥自動控制 ? 碳源等工藝氣體MFC控制 ? 薄膜制備過程全自動控制 ? 三腔室結構
關鍵詞：
石墨烯卷對卷
石墨烯卷對卷
產(chǎn)品特點/Product Characteristics：
♦ 石墨烯薄膜產(chǎn)業(yè)化設備
Graphene film industrialization equipment
♦ 寬幅卷對卷連續(xù)生長
Wide roll-to-roll continuous growth
♦ APC系統(tǒng):真空蝶閥自動控制
APC System: Automatic Control of Vacuum Butterfly Valve
♦ 碳源等工藝氣體MFC控制
MFC control of process gas such as carbon source
♦ 薄膜制備過程全自動控制
Automatic control of film preparation process
♦ 三腔室結構
Three-chamber structure
技術指標/Technical Indicators：
♦ 工作溫度:800-1050°C
Operating temperature: 800-1050°c
♦ 工藝管材質(zhì):石英管
Material of process tube: quartz tube
♦ 銅箔寬度:500mm
lnner diameter of process pipe: medium 550mm
♦ 極限真空度:小于3Pa，可恒壓控制
Limit vacuum degree: less than 3Pa, which can be controlled by constant pressure
♦ 恒溫區(qū):1000mm、五段控溫
Constant temperature zone: 1000mm, five-stage temperature control
♦ 工藝管內(nèi)徑:550mm
lnner diameter of process pipe: medium 550mm
♦ 銅箔運行速度約:100-400mm/min，可調(diào)
The running speed of copper foil is about 100-400mm/min, which can be adjusted
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